SLEとは?
-
SLE – “Selective Laser-Induced Etching”
超短パルスレーザーの照射を用いて加工素材へ変化を加え、ウェットエッチングを使用して変化を加えた領域を除去する事で非常に高精細な加工を行います。
短時間のレーザー照射とエッチングによる加工は短期間で大量の穴加工を可能にし、コストを抑えて高精細な加工品を生み出す事が可能です。
<主な特徴>
・超微細 – 穴径20μmから(異型や溝加工も可)
・超精密 – 穴径公差±1μm
・超深穴 – アスペクト比1:100
・超品質 – マイクロクラックなし、壁面粗さRa<1μm
SLEについて
SLE加工サンプル
|
材質:ホウ珪酸ガラス(D263T) 加工:厚さ0.5mmにφ0.2貫通 |
|
材質:ホウ珪酸ガラス 加工:厚さ0.5mmに六角形貫通加工(壁厚0.01mm) |
|
材質:合成石英 加工:厚さ10mmにφ0.25貫通 |
|
材質:合成石英 加工:厚さ0.45mmにφ0.04貫通(穴ピッチ0.1mm) |