SLEとは?

  • SLE – “Selective Laser-Induced Etching”

    超短パルスレーザーの照射を用いて加工素材へ変化を加え、ウェットエッチングを使用して変化を加えた領域を除去する事で非常に高精細な加工を行います。

    短時間のレーザー照射とエッチングによる加工は短期間で大量の穴加工を可能にし、コストを抑えて高精細な加工品を生み出す事が可能です。


    <主な特徴>

    ・超微細 – 穴径20μmから(異型や溝加工も可)

    ・超精密 – 穴径公差±1μm

    ・超深穴 – アスペクト比1:100     

    ・超品質 – マイクロクラックなし、壁面粗さRa<1μm



SLEについて

どのような素材に適用できますか?
各種ガラス、合成石英などの透明な素材を加工できます。
どのような形状が加工できますか?
穴、溝、異形穴(三角形や六角形など)、またテーパー穴から細穴へなどが可能です。*貫通形状のみ可能。
欠けはどの程度発生しますか?
最終的にエッチングで溶かしますので、欠けが発生しません。
多穴加工は可能ですか?
得意です。エッチング処理なので何枚も同時に処理できます。1穴1穴加工するより大きくコストダウンが可能です。

SLE加工サンプル

材質:ホウ珪酸ガラス(D263T) 加工:厚さ0.5mmにφ0.2貫通

材質:ホウ珪酸ガラス(D263T) 加工:厚さ0.5mmにφ0.2貫通

材質:ホウ珪酸ガラス(D263T)
加工:厚さ0.5mmにφ0.2貫通

材質:ホウ珪酸ガラス 加工:厚さ0.5mmに六角形貫通加工(壁厚0.01mm)

材質:ホウ珪酸ガラス 加工:厚さ0.5mmに六角形貫通加工(壁厚0.01mm)

材質:ホウ珪酸ガラス
加工:厚さ0.5mmに六角形貫通加工(壁厚0.01mm)

材質:合成石英 加工:厚さ10mmにφ0.25貫通

材質:合成石英 加工:厚さ10mmにφ0.25貫通

材質:合成石英
加工:厚さ10mmにφ0.25貫通

材質:合成石英 加工:厚さ0.45mmにφ0.04貫通(穴ピッチ0.1mm)

材質:合成石英
加工:厚さ0.45mmにφ0.04貫通(穴ピッチ0.1mm)